光刻机
这次进博会上，上海微电子展出新一代干式光刻机剖视模型，消息一出很快刷屏。
很多人第一反应，是不是我们马上就能造出顶尖芯片了。
其实它不是大家心心念念的 EUV，却同样分量很重。
成熟制程是国内芯片产业的基本盘，这套平台亮相，稳住了底盘，也给后续的技术攀登铺好了台阶，今天就把这件事讲明白。
先分清最关键的一点，展台上是透明剖视模型，方便大家看清光路、工件台、光学系统的...查看更多>>
