这为中国开展极紫外光刻开辟了可能性,而该技术一直受美国主导的出口管制。

位于中国的合肥先进光源(HALF)已发射其首束电子束,能量达到22亿电子伏特(eV),这标志着中国在实现建造第四代光源这一雄心勃勃目标方面迈出重大一步。
这为从芯片制造到阿尔茨海默病等众多研究途径开辟了可能性。
同步辐射光源是利用粒子加速器或储存环产生的电磁辐射。
一旦产生高能光束,就可以用磁铁使其偏转,并用于在亚纳米尺度上探测物质或活细胞,因此作为超级显微镜相当有效。
尽管以这种方式产生光很昂贵,但它是产生远红外波段宽带辐射的一种高度可靠方式。
这些装置最初为高能粒子物理而建造,后来被改造为光源。
直到第三代这类装置,低发射度才被优先考虑,以产生高度聚焦的细小光束。
第四代光源
中国于1989年在合肥建成其首个光源,并将其用于研究,包括解析SARS病毒的结构、对9900万年前琥珀中的恐龙成像,以及研究砷如何治疗白血病。
这个亚洲大国还拥有北京的高能同步辐射光源和上海同步辐射光源,并于2023年在安徽省开工建设合肥先进光源(HALF)。
该项目预计于2028年完工,并将与另外两个光源一起,帮助中国覆盖先进光源系统的高、中、低能区。
HALF是第四代光源,设计使用极亮X射线。
这些射线通过让高速电子在磁场中转向而产生。
第四代光源优于第三代光源,例如阿贡国家实验室的先进光子源或劳伦斯伯克利国家实验室的先进光源,因为它们产生更精细、更集中且更明亮的X射线束。
HALF的光束
HALF使用一台630英尺(192米)长的直线加速器来加速电子。
在最近一次运行中,团队实现了22亿电子伏特的能量,这标志着该项目的一个重大里程碑。
HALF产生的X射线预计将比上一代亮100倍,相干性也更好,并据称是世界上最亮、最稳定的。
该设施还设有35个实验站,将用于高温超导、新能源电池、材料以及生命科学研究。
首批实验站还将配备一个极紫外光刻平台,这是制造先进半导体的关键技术。
该技术目前是美国严格出口管制的一部分,这将为中国使用这一技术打开大门。
“成功产生束流意味着我们朝着最终目标迈出了关键一步,”参与该项目的科学家何志刚表示。